更新時間：2026-01-11
RTD Wafer 晶圓有線測溫系統(tǒng)儀表化晶圓（熱電偶或RTD）適用于半導體加工設備，在這些設備中，了解和控制晶圓表面的溫度至關重要。
免費咨詢：021-59966206
RTD Wafer 晶圓有線測溫系統(tǒng)
儀表化晶圓（熱電偶或RTD）適用于半導體加工設備，在這些設備中，了解和控制晶圓表面的溫度至關重要。
RTD Wafer 晶圓有線測溫系統(tǒng)
測溫范圍：-40℃至250℃
電阻器：薄膜鉑
電阻：0°C時標稱電阻值為1000 Q
精度：±0.1℃
測溫點數(shù)：1~68個
傳感器引線：可定制
可提供絕緣：聚酰亞胺涂覆的銅引線
測溫探頭接口：DB37
晶圓材質(zhì)：硅片，藍寶石，碳化硅等（基材形狀和尺寸可定制）
晶圓尺寸：50mm，100mm，150mm，200mm，300mm
真空貫通帶：聚酰亞胺扁平電纜，大氣壓可達10-7Torr（長度由客戶定）
發(fā)郵件給我們：501630350@qq.com
咨詢電話