無線溫度記錄器

更新時間：2026-01-11

簡要描述：

微型無線溫度記錄器光刻系統是制造芯片的核心裝備，其中溫度的檢測尤為重要，溫度會影響光刻膠流動，從而影響光刻的成品率。微型無線溫度記錄器體積微小，重量輕，攜帶方便。適用于曝光系統，光刻系統等的溫度檢測記錄。
產品特點

1. 體積微小、靈活通用；

2. 溫度準確度小于10mK；

3. 采用無線通訊方式，響應時間短，可連續工作時間超過10天。

產品尺寸

長20mm×寬

型號：RD3358點擊量：1905

免費咨詢：021-59966206

發郵件給我們：501630350@qq.com

無線溫度記錄器微型無線溫度記錄器

產品概述

光刻系統是制造芯片的核心裝備，其中溫度的檢測尤為重要，溫度會影響光刻膠流動，從而影響光刻的成品率。微型無線溫度記錄器體積微小，重量輕，攜帶方便。適用于曝光系統，光刻系統等的溫度檢測記錄。

微型無線溫度記錄器產品特點

1. 體積微小、靈活通用；

2. 溫度準確度小于10mK；

3. 采用無線通訊方式，響應時間短，可連續工作時間超過10天。

微型無線溫度記錄器主要參數

產品尺寸	長20mm×寬20mm×厚10mm
溫度范圍	0℃ ~ 40℃
溫度準確度	＜10mK（3σ）
重復測量準確度	＜5mK（3σ）
傳感器響應時間	≤1s
采集頻率	Max.1Hz
連續工作時間	≥10days
通訊方式	Wifi
保修期	1年

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